Last updated: 5 ก.พ. 2569 | 61 จำนวนผู้เข้าชม |
คือเครื่องมือวัดพื้นผิวแบบไม่สัมผัส (Non-Contact Measurement) สำหรับการวิเคราะห์พื้นผิวเชิงลึกทั้งแบบ 2D และ 3D โดยผสานเทคโนโลยี White Light Interferometry และ Confocal Microscopy ไว้ในเครื่องเดียว ช่วยให้การวัดพื้นผิวมีความแม่นยำสูง ครอบคลุมการใช้งานตั้งแต่พื้นผิวเรียบพิเศษไปจนถึงพื้นผิวหยาบหรือโครงสร้างซับซ้อน เหมาะสำหรับงานควบคุมคุณภาพ (QC) และงานวิจัยและพัฒนา (R&D)
เทคโนโลยี White Light Interferometry เหมาะสำหรับการวัดพื้นผิวเรียบพิเศษและพื้นผิวโปร่งใส ให้ความแม่นยำระดับ Sub-Nanometer พร้อมภาพที่คมชัดและลดการบิดเบือนของข้อมูล ช่วยให้สามารถตรวจสอบรายละเอียดของพื้นผิวได้อย่างแม่นยำสูง
Confocal Microscopy เหมาะสำหรับพื้นผิวหยาบ พื้นผิวที่มีมุมชัน หรือโครงสร้างซับซ้อน สามารถสร้างภาพพื้นผิวแบบ 3 มิติได้อย่างละเอียด เก็บข้อมูลพื้นผิวได้ครบถ้วน แม้ในบริเวณที่เข้าถึงยาก
| Model No. | SuperView WT3000 | SuperView WT3200 | |
|---|---|---|---|
| Light Source | White Light LED | ||
| Video System | 1024 × 1024 | ||
| Interference Objective Lens | 10X (2.5X, 5X, 20X, 100X optional) | ||
| Confocal Objective Lenses | 10X, 50X (5X, 20X, 100X optional) | ||
| Standard Field of View | 1.2 × 1.2 mm (10X) | ||
| Lens Turret | Motorized 5-hole turret | ||
| XY Object Table | Size | 200 × 200 mm | 300 × 300 mm |
| Travel Range | 100 × 100 mm | 200 × 200 mm | |
| Load Capacity | 10 kg | ||
| Control Mode | Motorized | ||
| Tilt | ±3° | ||
| Z-axis | Travel Range | 100 mm | |
| Control Mode | Motorized | ||
| Z Stroke Scanning Range | 10 mm | ||
| Surface Topography Repeatability STR*1 | 0.1 nm (White light interferometry) | ||
| Roughness RMS Repeatability*2 | 0.005 nm (White light interferometry) | ||
| Step Height Measurement*3 | Accuracy: 0.5%; Repeatability: 0.1% (1σ) (White light interferometry) | ||
| Weight | 50 kg | ||
| Size (L × W × H) | 440 × 330 × 700 mm | 600 × 700 × 850 mm | |
| Operating Environment | Temperature | 0°C 30°C, Variation < 2°C / hour | |
| Humidity | 5% 95% RH, no condensation | ||
| Vibration | VC-C or better | ||
| Software Noise Evaluation*4 | 3σ 4 nm | ||
| Compressed Air | 0.6 MPa oil-free and water-free, 6 mm diameter of hose | ||
| Power Supply | AC 100 240 V, 50/60 Hz, 4 A, Power 300 W | ||
| Others | No strong magnetic field, no corrosive gas | ||
หมายเหตุ (Note)
*1 ใช้โหมด EPSI ในการวัดค่าความขรุขระผิว Sa 0.2 nm ของแผ่นเวเฟอร์ซิลิคอน ทำการวัดในสภาพแวดล้อมห้องปฏิบัติการ ใช้การสแกนแบบ Single Stripe และฟิลเตอร์ขนาด 80 µm สำหรับพื้นที่การมองเห็นเต็มพื้นที่ (Full Field of View)
*2 วัดค่าความขรุขระผิว Sa 0.2 nm ของแผ่นเวเฟอร์ซิลิคอน ในสภาพแวดล้อมห้องปฏิบัติการ ตามมาตรฐาน ISO 25178
*3 วัดบล็อกมาตรฐานความสูงขั้น (Step Height) ขนาด 5 µm ในสภาพแวดล้อมห้องปฏิบัติการ ตามมาตรฐาน ISO 10610-1:2009
*4 เมื่อค่าการประเมินสัญญาณรบกวนของซอฟต์แวร์ (Software Noise Evaluation) อยู่ในช่วง 4 nm ≤ 3σ ≤ 10 nm
ค่าประสิทธิภาพจะถูกปรับลดลงดังนี้:
ความสามารถในการวัดซ้ำของค่า Roughness RMS ปรับเป็น 0.015 nm
ความแม่นยำในการวัดความสูงขั้น (Step Height Measurement Accuracy) ปรับเป็น 0.7%
ความสามารถในการวัดซ้ำของความสูงขั้น (Step Height Measurement Repeatability) ปรับเป็น 0.12%
SuperView WT3000 Hybrid 3D Optical Profilometer คือโซลูชันระดับมืออาชีพสำหรับการวัดพื้นผิวความแม่นยำสูง ด้วยเทคโนโลยี Hybrid ที่รวม White Light Interferometry และ Confocal Microscopy ไว้ในเครื่องเดียว ช่วยให้การวิเคราะห์พื้นผิวมีความละเอียด ครบถ้วน และเชื่อถือได้ เหมาะสำหรับองค์กรที่ต้องการยกระดับมาตรฐานการตรวจวัดพื้นผิวในงานอุตสาหกรรมและงานวิจัย
3 ก.ค. 2565
20 ก.ย. 2566
19 ส.ค. 2568
