Stylus Nano Profiler NS200 เครื่องวัดพื้นผิวระดับนาโนความแม่นยำสูง

Last updated: 7 ก.พ. 2569  |  60 จำนวนผู้เข้าชม  | 


 

Stylus Nano Profiler NS200
เครื่องวัดพื้นผิวระดับนาโนความแม่นยำสูง สำหรับงานวิจัยและอุตสาหกรรมขั้นสูง

 

ภาพรวมของ Stylus Nano Profiler NS200

Stylus Nano Profiler NS200 เป็นเครื่องวัดพื้นผิวแบบสัมผัสที่พัฒนาขึ้นสำหรับการวิเคราะห์พื้นผิวและโครงสร้างระดับไมโคร–นาโนโดยเฉพาะ ด้วยการออกแบบระบบวัดที่มีความเสถียรสูง เครื่องสามารถให้ผลการวัดที่มีความแม่นยำและความสามารถในการทำซ้ำที่ยอดเยี่ยม เหมาะสำหรับทั้งงานวิจัยเชิงลึกและการควบคุมคุณภาพในกระบวนการผลิตระดับอุตสาหกรรม

เครื่องรุ่นนี้ถูกออกแบบมาเพื่อตอบโจทย์การวัดพื้นผิวที่ต้องการความละเอียดสูง เช่น โครงสร้างฟิล์มบาง ชิ้นงานที่มี Step Height ขนาดเล็กมาก รวมถึงพื้นผิวที่ต้องการการวิเคราะห์เชิงปริมาณอย่างแม่นยำ


จุดเด่นของ Stylus Nano Profiler NS200

ความละเอียดระดับ Sub-Angstrom
Stylus Nano Profiler NS200 ใช้เซนเซอร์ LVDT ที่มีความเฉื่อยต่ำเป็นพิเศษ (Ultra Low Inertia) ช่วยให้สามารถตรวจจับการเปลี่ยนแปลงของความสูงผิวในระดับ Sub-Angstrom ได้อย่างแม่นยำ เหมาะสำหรับงานวัดโครงสร้างผิวระดับนาโนที่ต้องการความละเอียดสูงมาก

ระบบควบคุมการเคลื่อนที่ที่เสถียร
ระบบควบคุมการเคลื่อนที่ของแกน X-Y และการสแกนได้รับการออกแบบให้มีสัญญาณรบกวนต่ำ ทำให้การเคลื่อนที่ของหัววัดเป็นไปอย่างราบรื่น ส่งผลให้ค่าที่ได้มีความเสถียรและทำซ้ำได้ดี แม้ในงานวัดที่ต้องใช้ระยะสแกนยาว

แรงกดหัววัดต่ำ ไม่ทำลายพื้นผิว
หัววัดสามารถปรับแรงกดได้ตั้งแต่ 1–50 mg ซึ่งเป็นแรงกดที่ต่ำมาก เหมาะสำหรับการวัดฟิล์มบางและพื้นผิวที่บอบบาง ช่วยลดความเสี่ยงในการเกิดรอยหรือความเสียหายต่อชิ้นงาน

รองรับวัสดุหลากหลายประเภท
เครื่องสามารถวัดพื้นผิววัสดุได้หลากหลาย ไม่ว่าจะเป็นวัสดุแข็ง วัสดุอ่อน พื้นผิวสะท้อนแสง หรือพื้นผิวด้าน ทำให้สามารถนำไปใช้งานได้ในหลายอุตสาหกรรมโดยไม่ต้องเปลี่ยนเทคนิคการวัด

 

 

 

 

การใช้งานในอุตสาหกรรมและงานวิจัย

Stylus Nano Profiler NS200 ถูกนำไปใช้อย่างแพร่หลายในงานที่ต้องการความแม่นยำสูง เช่น

อุตสาหกรรมเซมิคอนดักเตอร์ สำหรับการวัด Step Height และความหนาฟิล์มบนเวเฟอร์
อุตสาหกรรม LED และออปโตอิเล็กทรอนิกส์ สำหรับการวิเคราะห์โครงสร้างชั้นวัสดุ
อุตสาหกรรมโซลาร์เซลล์ สำหรับการตรวจสอบฟิล์มเคลือบและความสม่ำเสมอของพื้นผิว
งาน MEMS และไมโครสตรัคเจอร์ ที่ต้องการการวัดโครงสร้างขนาดเล็กมาก
การพัฒนาหน้าจอ LCD, AMOLED และแผงสัมผัส
อุตสาหกรรมยานยนต์ สำหรับการควบคุมคุณภาพชิ้นส่วนที่ต้องการความแม่นยำสูง
เครื่องมือและอุปกรณ์ทางการแพทย์ที่ต้องการการตรวจสอบพื้นผิวอย่างละเอียด

 

 

 

 

 

ตัวอย่างงานวัดที่รองรับ

Stylus Nano Profiler NS200 รองรับงานวัดพื้นผิวที่หลากหลาย ได้แก่


การวัดความสูงขั้น (Step Height) ของฟิล์มเคลือบและฟิล์มเรซินบาง
การวัดความหนาฟิล์มบนกระจกและแผ่นเวเฟอร์
การวัดอัตราการกัดกร่อน (Etch Rate) ในกระบวนการผลิตไมโครอิเล็กทรอนิกส์
การวิเคราะห์กระบวนการขัดเงา (Polishing Process)
การวัด Step Height ในขั้นตอนการพัฒนาหน้าจอ LCD และ AMOLED
การวัดความหนาฟิล์มบางในอุตสาหกรรมโซลาร์เซลล์

 

 

 

 

สมรรถนะทางเทคนิค (Technical Highlights)

หัววัดปลายรัศมี 2 µm มุม 60°
ช่วงการวัดเซนเซอร์ 330 µm หรือ 1050 µm
ความสามารถในการทำซ้ำของ Step Height สูงถึง 5 Å
ระบบโต๊ะ X-Y แบบมอเตอร์ ขนาด 150 × 150 มม.
รองรับชิ้นงานเวเฟอร์สูงสุดขนาด 8 นิ้ว (200 มม.)
ความเร็วการสแกนตั้งแต่ 2 µm/s ถึง 10 mm/s
รองรับจุดเก็บข้อมูลสูงสุด 12,000 จุดต่อการสแกน

 

ทางเลือกที่เชื่อถือได้สำหรับงานระดับสูง

ด้วยความแม่นยำระดับนาโน ความเสถียรของระบบ และความสามารถในการรองรับงานวัดที่หลากหลาย Stylus Nano Profiler NS200 จึงเป็นเครื่องมือที่เหมาะสำหรับทั้งงานวิจัยขั้นสูงและการควบคุมคุณภาพในสายการผลิตอุตสาหกรรม

หากคุณกำลังมองหาเครื่องวัดพื้นผิวที่ให้ผลลัพธ์แม่นยำ เชื่อถือได้ และรองรับการใช้งานในระยะยาว Stylus Nano Profiler NS200 คือหนึ่งในตัวเลือกที่ตอบโจทย์ที่สุด

 

 

คุณสมบัติ (ตามตาราง)

Parameters
NS200
NS200-D
Model No.
NS200
NS200-D
Sample Observation
Front View Navigation
5MP Colorful Camera
F.O.V.: 2.2 × 1.7 mm
Front View Navigation
5MP Colorful Camera
F.O.V.: 10 × 13.4 mm
 
Side View Navigation
5MP Colorful Camera
F.O.V.: 2 × 2.68 mm
Sensor
Ultra Low Inertia, LVDT Sensor
Measuring Force
1 50 mg Adjustable
Stylus
Tip radius 2 µm, Angle 60°
XY Travel Range
Motorized X/Y (150 mm × 150 mm), Manually adjustable leveling
Sample R-θ Stage
Motorized, 0 360°, Continuous rotation
Vacuum Chuck
6-inch Vacuum Chuck
Single Scan Length
55 mm
Max Scanning Range
150 mm (XY travel) + 55 mm scanning range, Max range is 8 inches
Max Sample Height
50 mm
Max Wafer Size
200 mm (8")
Step Height Repeatability*1
5 Å @ Range 330 µm / 10 Å @ Range 1 mm
(Measure step height 1 µm, 1σ)
Sensor Range*2
330 µm or 1050 µm
Scanning Speed
2 µm/s 10 mm/s
Max Scan Sampling Points
12,000
Size (L × W × H)
640 × 610 × 500 mm
640 × 650 × 530 mm
Weight
40 kg
Input
AC 100 240 V, 50/60 Hz, 200 W
Working Environment
Humidity: 30 40% RH (No condensation)
Temperature: 16 25°C (Fluctuation < 2°C/h)
Ground vibration: 6.35 µm/s (1 100 Hz)
Audio noise: 80 dB
Air laminar flow: 0.508 m/s (Downward flow)




 

สอบถามข้อมูลเพิ่มเติม / ขอใบเสนอราคา

Stylus Nano Profiler NS200 Surface Profiler Nano Metrology Step Height Measurement Thin Film Thickness Semiconductor Measurement

เนื้อหาที่เกี่ยวข้อง

เว็บไซต์นี้มีการใช้งานคุกกี้ เพื่อเพิ่มประสิทธิภาพและประสบการณ์ที่ดีในการใช้งานเว็บไซต์ของท่าน ท่านสามารถอ่านรายละเอียดเพิ่มเติมได้ที่ นโยบายความเป็นส่วนตัว  และ  นโยบายคุกกี้